事實上,在科研和生產中都能見到一些專 用的氣浮臺設備,這些專 用設備在使用過程中能有效地保證其精 確度,與機械式轉臺相比,氣浮臺作用更大,能更好的保證精度,但見過許多設備之后,大概不知道它到底有什么優點,我想看看這個氣浮轉臺是什么?
氣浮轉臺是利用軸承腔內空氣壓力導入,使轉軸懸浮于空氣中,并能平滑旋轉,使轉軸在空氣中懸浮,通過軸承腔引入空氣壓力,使導流間隙特別小,保證轉軸懸浮,從而獲得較高的軸向和徑向跳動誤差。高速、高精度、無摩擦、無磨損、不潤滑、速度穩定、無噪音。氣浮轉盤具有許多優點,越來越多地使用氣浮式軸承來代替傳統的機械軸承。
氣浮轉臺作為一種典型的超精密機械,從誕生起就受到了人們的廣泛關注,其中包括微光刻技術、數控加工、生命科技、納米面形測量,高精密機床研發等領域,是超精密定位、探測及精 確移動載體平臺,為超精密加工工藝技術的研究開發拓展了一個領域,可以很好的解決高精度零件的加工、檢驗等問題。
具有多年的精密機械設計、加工、裝配等專 業經驗,瑞邦精控從設計上研究高壓氣體流動規律、壓力分布、轉臺精度分離方法等問題。從壓力分布、氣源壓力、節流器、均壓槽深等方面,確定了高壓氣膜剛度下各參數的范圍。在氣浮臺研制中的關鍵技術突破,為高精度零件加工、檢測、超精密加工工具的開發奠定了技術基礎。完成了氣浮平臺的設計與制造,并在100nm范圍內實現了1角秒的定位精度。